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测量仪器 |
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触针式测量仪器通常用来测量表面粗糙度。可采用以下几种类型的仪器来进行测量，不同的测量方法对测量不确定度的影响有不同的特性(见下图) ① 在被测表面上滑行的一个或一对导头的仪器(仪器有一平直的基准平面)； ② 一个在具有名义表面形状的基准平面上滑行的导头； ③ 一个具有可调整的或可编程的与导头组合一起的基准线生成器，例如，可由一个坐标测量机来实现基准线； ④ 用一个无导头的传感器和一个具有较大测量范围的平直基准对形状、波纹度和表面粗糙度进行评定
仪器特性及和制造方法相关的测量行程方向 根据ISO标准，触针的针尖半径应为2μm或5μm或10μm，触针的圆锥角可为60°或90°。此外，有关仪器特性的详细资料查ISO 3274，在表面测量的报告中应注明针尖半径和触针角度 在对表面粗糙度或波纹度进行测量时，需要用无导头传感器和一个被限定截止的滤波器，它压缩表面轮廓的长波成分或短波成分。测量仪器仅适用于某些特定的截止波长，下表给出了适当的截止波长的参考值。必须要认真选择合适的触针针尖半径，取样长度和截止滤波器，见ISO 3274、ISO 4288和ISO 11562，否则测量中就会出现系统误差 根据波纹度、加工纹理方向和测量仪器的影响的功能考虑，可能要选择一种不同的截止值 |
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滤波和截止波长 |
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模 数 |
标准工作齿高 |
标准截止波长 |
工作齿高内的截止波数 |
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1.5 |
3.0 |
0.2500 |
12 |
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2.0 |
4.0 |
0.2500 |
16 |
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2.5 |
5.0 |
0.2500 |
20 |
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3.0 |
6.0 |
0.2500 |
24 |
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4.0 |
8.0 |
0.8000 |
10 |
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5.0 |
10.0 |
0.8000 |
12 |
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6.0 |
12.0 |
0.8000 |
15 |
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7.0 |
14.0 |
0.8000 |
17 |
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8.0 |
16.0 |
0.8000 |
20 |
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9.0 |
18.0 |
0.8000 |
22 |
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10.0 |
20.0 |
0.8000 |
25 |
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11.0 |
22.0 |
0.8000 |
27 |
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12.0 |
24.0 |
0.8000 |
30 |
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16.0 |
32.0 |
2.5000 |
13 |
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20.0 |
40.0 |
2.5000 |
16 |
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25.0 |
50.0 |
2.5000 |
20 |
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50.0 |
100.0 |
8.0000 |
12 |
